计量学报2023，Vol.44Issue(8)：1202-1207,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2023.08.08
双臂非共程点光源非定域干涉小角度测量方法
The Method to Measure Small Angle by Two-arm Non-common Path Non-localized Interference of Point Light Source
摘要
关键词
计量学/小角度测量/非定域干涉/同心圆环/双臂非共程Key words
metrology/measure small angle/non-localized interference/concentric rings/two-arm non-common path分类
通用工业技术引用本文复制引用
张宝武,崔建军,欧阳烨锋,陈恺,方振远..双臂非共程点光源非定域干涉小角度测量方法[J].计量学报,2023,44(8):1202-1207,6.基金项目
国家市场监督管理总局科技计划(2022MK220,2021MK188) （2022MK220,2021MK188）
浙江自然科学基金(LY22E050005) （LY22E050005）
