强激光与粒子束2023,Vol.35Issue(9):31-40,10.DOI:10.11884/HPLPB202335.220405
强光元件逆向哈特曼在位检测装置误差敏感因素分析与验证
Error-sensitive factors analysis and verification for optical element in-situ measurement device based on phase measuring deflectometry
摘要
关键词
面形测量/在位检测/强光元件/误差分析/仿真模型Key words
shape measurement/in-situ measurement/optical element/error analysis/simulation model分类
机械制造引用本文复制引用
王姗姗,彭星,石峰,乔硕,徐博文,郝群,宋辞,铁贵鹏,田野,翟德德..强光元件逆向哈特曼在位检测装置误差敏感因素分析与验证[J].强激光与粒子束,2023,35(9):31-40,10.基金项目
国家重点研发计划项目(2021YFC2202403-2) (2021YFC2202403-2)
国家自然科学基金项目(62175259) (62175259)