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强光元件逆向哈特曼在位检测装置误差敏感因素分析与验证

王姗姗 彭星 石峰 乔硕 徐博文 郝群 宋辞 铁贵鹏 田野 翟德德

强激光与粒子束2023,Vol.35Issue(9):31-40,10.
强激光与粒子束2023,Vol.35Issue(9):31-40,10.DOI:10.11884/HPLPB202335.220405

强光元件逆向哈特曼在位检测装置误差敏感因素分析与验证

Error-sensitive factors analysis and verification for optical element in-situ measurement device based on phase measuring deflectometry

王姗姗 1彭星 2石峰 2乔硕 2徐博文 1郝群 3宋辞 2铁贵鹏 2田野 2翟德德2

作者信息

  • 1. 北京理工大学光电学院,精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京 100081
  • 2. 国防科技大学智能科学学院,长沙 410073
  • 3. 北京理工大学光电学院,精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京 100081||长春理工大学光电工程学院,长春 130022
  • 折叠

摘要

关键词

面形测量/在位检测/强光元件/误差分析/仿真模型

Key words

shape measurement/in-situ measurement/optical element/error analysis/simulation model

分类

机械制造

引用本文复制引用

王姗姗,彭星,石峰,乔硕,徐博文,郝群,宋辞,铁贵鹏,田野,翟德德..强光元件逆向哈特曼在位检测装置误差敏感因素分析与验证[J].强激光与粒子束,2023,35(9):31-40,10.

基金项目

国家重点研发计划项目(2021YFC2202403-2) (2021YFC2202403-2)

国家自然科学基金项目(62175259) (62175259)

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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