中国新技术新产品Issue(15)：P.88-92,5.
半导体检测设备中直角补偿镜组光路计算及误差分析
冯朝辉1
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- 1. 江苏集萃苏科思科技有限公司,江苏苏州215133
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摘要
关键词
半导体/补偿镜组/光路计算误差分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
冯朝辉..半导体检测设备中直角补偿镜组光路计算及误差分析[J].中国新技术新产品,2023,(15):P.88-92,5.基金项目
船舶涂装车间绿色生产技术与装备研发(项目编号:MC-202003-Z01-05)。 （项目编号:MC-202003-Z01-05）
