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容性耦合硅烷等离子体尘埃颗粒空间分布的二维流体模拟

段蒙悦 贾文柱 张莹莹 张逸凡 宋远红

物理学报2023，Vol.72Issue(16)：P.181-189,9.
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物理学报2023，Vol.72Issue(16)：P.181-189,9.DOI:10.7498/aps.72.20230686

容性耦合硅烷等离子体尘埃颗粒空间分布的二维流体模拟

段蒙悦 1贾文柱 2张莹莹 1张逸凡 1宋远红1

作者信息

  • 1. 大连理工大学物理学院,三束材料改性教育部重点实验室,大连116024
  • 2. 西南大学人工智能学院,重庆400715
  • 折叠

摘要

关键词

容性耦合硅烷等离子体/尘埃颗粒/离子拖拽力/二维流体模型

分类

社会科学

引用本文复制引用

段蒙悦,贾文柱,张莹莹,张逸凡,宋远红..容性耦合硅烷等离子体尘埃颗粒空间分布的二维流体模拟[J].物理学报,2023,72(16):P.181-189,9.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:12020101005,11975067,12005176,12275039)资助的课题. （批准号:12020101005,11975067,12005176,12275039）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-3290

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