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三氯化铁-草酸体系不锈钢化学机械抛光液设计与优化

王泽宇彭亚男苏建修陈佳鹏

金刚石与磨料磨具工程2023，Vol.43Issue(4)：P.497-503,7.

金刚石与磨料磨具工程2023，Vol.43Issue(4)：P.497-503,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2022.0159

王泽宇 ¹彭亚男 ²苏建修 ³陈佳鹏⁴

作者信息

1. 郑州电子信息职业技术学院,郑州451450
2. 南京航空航天大学,江苏省精密与微细制造技术重点实验室,直升机传动技术国家重点实验室,南京210016
3. 河南科技学院机电学院,河南新乡453003
4. 南京航空航天大学,江苏省精密与微细制造技术重点实验室,直升机传动技术国家重点实验室,南京210016 上海工程技术大学,微纳制造先进材料研究中心,上海201620
折叠

化学机械平坦化/304不锈钢/三氯化铁-草酸/材料去除率/表面粗糙度

矿业与冶金

王泽宇,彭亚男,苏建修,陈佳鹏..三氯化铁-草酸体系不锈钢化学机械抛光液设计与优化[J].金刚石与磨料磨具工程,2023,43(4):P.497-503,7.

江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金（）

国家自然科学基金面上项目(51375149)。（51375149）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1006-852X

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