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热场发射扫描电镜中的复合物镜和镜筒内探测系统

高尚 马清 孙千 黄梦诗 陈双文 张青

测试技术学报2023，Vol.37Issue(5)：P.400-407,8.
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测试技术学报2023，Vol.37Issue(5)：P.400-407,8.DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2023.05.006

热场发射扫描电镜中的复合物镜和镜筒内探测系统

高尚 1马清 2孙千 3黄梦诗 1陈双文 4张青4

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学(深圳)材料科学与工程学院,广东深圳518055
  • 2. 哈尔滨工业大学(深圳)实验与创新实践教育中心,广东深圳518055
  • 3. 华南理工大学材料科学与工程学院,广东广州510640
  • 4. 卡尔蔡司(上海)管理有限公司,广东广州510623
  • 折叠

摘要

关键词

场发射扫描电镜/低加速电压/复合物镜/镜筒内探测器

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

高尚,马清,孙千,黄梦诗,陈双文,张青..热场发射扫描电镜中的复合物镜和镜筒内探测系统[J].测试技术学报,2023,37(5):P.400-407,8.

基金项目

教育部产学合作协同育人资助项目(201802284007) （201802284007）

哈尔滨工业大学(深圳)创新实验资助项目(INEP1013)。 （深圳）

测试技术学报

OACSTPCD

1671-7449

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