金刚石与磨料磨具工程2023，Vol.43Issue(4)：P.432-439,8.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2022.0137
基于Bi_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)体系的陶瓷结合剂金刚石砂轮制备及其对单晶硅的磨削性能
摘要
关键词
陶瓷结合剂金刚石砂轮/单晶硅晶圆片/力学性能/磨削性能分类
化学化工引用本文复制引用
白福厚,廖燕玲,轩闯,张凤林..基于Bi_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)体系的陶瓷结合剂金刚石砂轮制备及其对单晶硅的磨削性能[J].金刚石与磨料磨具工程,2023,43(4):P.432-439,8.基金项目
广东省珠江本土创新团队项目(2017BT01C169) （2017BT01C169）
佛山市核心技术攻关项目(1920001000361)。 （1920001000361）
