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射频碳氟等离子提升环氧树脂沿面耐电性能的研究

王晨旭吴锡鹏刘孝平郭前鑫高春阳谢坤李文栋张冠军

高压电器2023，Vol.59Issue(9)：133-141,9.

高压电器2023，Vol.59Issue(9)：133-141,9.DOI:10.13296/j.1001-1609.hva.2023.09.016

射频碳氟等离子提升环氧树脂沿面耐电性能的研究

Study on Ehancment of Surface Electric Resistance of Epoxy Resin by Radio Frequency Fluorocarbon Plasma

王晨旭 ¹吴锡鹏 ¹刘孝平 ¹郭前鑫 ¹高春阳 ¹谢坤 ¹李文栋 ²张冠军²

作者信息

1. 国家能源集团国源电力有限公司,北京 100032
2. 西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室,西安 710049
折叠

摘要

关键词

四氟化碳/射频电容耦合等离子体/表面改性/沿面耐电性能

Key words

CF4/radio frequency capacitively coupled plasma/surface modification/surface electric performance

引用本文复制引用

王晨旭,吴锡鹏,刘孝平,郭前鑫,高春阳,谢坤,李文栋,张冠军..射频碳氟等离子提升环氧树脂沿面耐电性能的研究[J].高压电器,2023,59(9):133-141,9.

基金项目

国家自然科学基金项目(52207172) （52207172）

南方电网公司科技项目(036100kk52210003). Project Supported by National Natural Science Foundation of China(52207172),Science and Technology Project of China Southern Power Grid Co.(036100kk52210003). （036100kk52210003）

高压电器

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1001-1609

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