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全簧片式空间大行程并联柔性微定位平台及其轨迹控制

陈云壮赖磊捷李朋志朱利民

光学精密工程2023，Vol.31Issue(18)：2675-2686,12.

光学精密工程2023，Vol.31Issue(18)：2675-2686,12.DOI:10.37188/OPE.20233118.2675

全簧片式空间大行程并联柔性微定位平台及其轨迹控制

Full leaf-spring type spatial large-stroke parallel flexure micro-positioning stage and trajectory control

陈云壮 ¹赖磊捷 ¹李朋志 ²朱利民³

作者信息

1. 上海工程技术大学机械与汽车工程学院,上海松江 201620
2. 格鲁斯特大学计算与工程学院,英国切尔滕纳姆 GL502RH||中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春 130033
3. 上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室,上海 200240
折叠

摘要

关键词

并联柔性机构/音圈电机/大行程/簧片型柔性球铰/相位超前PI控制/滑模控制

Key words

parallel flexure mechanism/voice coil motor/large stroke/leaf-spring type flexure spherical joint/phase advanced PI controller/sliding mode controller

分类

计算机与自动化

引用本文复制引用

陈云壮,赖磊捷,李朋志,朱利民..全簧片式空间大行程并联柔性微定位平台及其轨迹控制[J].光学精密工程,2023,31(18):2675-2686,12.

基金项目

国家自然科学基金联合基金重点支持项目(No.U2013211) （No.U2013211）

国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.51605275) （No.51605275）

上海市自然科学基金资助项目(No.21ZR1426000) （No.21ZR1426000）

机械系统与振动国家重点实验室课题资助项目(No.MSV202210) （No.MSV202210）

光学精密工程

OACSTPCD

ISSN：1004-924X

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