人工晶体学报2023，Vol.52Issue(9)：1570-1575,6.
斜切角对β-Ga2O3(100)面衬底加工的影响研究
Study on the Influence of Miscut-Angle on the Processing of β-Ga2O3(100)Plane Substrate
摘要
关键词
β-Ga2O3/解理/斜切角/抛光/表面粗糙度Key words
β-Ga2 O3/cleavage/miscut-angle/polishing/surface roughness分类
化学化工引用本文复制引用
李信儒,侯童,马旭,王佩,李阳,穆文祥,贾志泰,陶绪堂..斜切角对β-Ga2O3(100)面衬底加工的影响研究[J].人工晶体学报,2023,52(9):1570-1575,6.基金项目
国家自然科学基金(52002219,51932004,61975098) （52002219,51932004,61975098）
广东省重点领域研发计划(2020B010174002) （2020B010174002）
深圳市基础研究计划(JCYJ20210324132014038) （JCYJ20210324132014038）
111 工程2.0(BP2018013) （BP2018013）
