人工晶体学报2023,Vol.52Issue(9):1589-1598,10.
移动加热器法碲锌镉晶体生长系统热场研究
Study on Thermal Field of Growth System of CdZnTe Crystal Growth by Traveling Heater Method
摘要
关键词
碲锌镉晶体/移动加热器法/半导体/数值模拟/热场/炉膛结构Key words
CdZnTe crystal/traveling heater method/semiconductor/numerical simulation/thermal field/furnace structure分类
数理科学引用本文复制引用
徐哲人,张继军,曹祥智,卢伟,刘昊,祁永武..移动加热器法碲锌镉晶体生长系统热场研究[J].人工晶体学报,2023,52(9):1589-1598,10.基金项目
国家自然科学基金(12275167) (12275167)