人工晶体学报2023，Vol.52Issue(9)：1651-1659,9.
基于纳米压痕与纳米划痕实验的单晶硅超精密切削特性研究
Ultra Precision Cutting Characteristics of Monocrystalline Silicon Based on Nanoindentation and Nanoscratch Experiments
摘要
关键词
单晶硅/超精密切削/纳米压痕/纳米划痕/脆塑转变/切削力/弹性回复率/摩擦系数Key words
monocrystalline silicon/ultra precision cutting/nanoindentation/nanoscratch/brittle-plastic transition/cutting force/elastic recovery rate/friction coefficient分类
矿业与冶金引用本文复制引用
崔杰,杨晓京,李云龙,张高赞,李宗睿..基于纳米压痕与纳米划痕实验的单晶硅超精密切削特性研究[J].人工晶体学报,2023,52(9):1651-1659,9.基金项目
国家自然科学基金(51765027) （51765027）
