机电工程技术2023，Vol.52Issue(8)：280-283,4.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2023.08.059
碳化硅外延设备干扰问题与解决方案
Interference Problem and Solution of Silicon Carbide Epitaxial Equipment
摘要
关键词
SiC外延设备/电磁干扰/抗干扰/PLC控制系统Key words
SiC epitaxy equipment/electromagnetic interference/anti-interference/PLC control system分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
高桑田,毛朝斌,戴科峰,盛飞龙,王鑫,仇礼钦,梁启恒..碳化硅外延设备干扰问题与解决方案[J].机电工程技术,2023,52(8):280-283,4.基金项目
季华实验室项目(X210241TC210) （X210241TC210）
