TOPCon太阳电池中多晶硅层磷掺杂工艺的优化及其对电性能的影响OA
OPTIMIZATION OF PHOSPHORUS DOPING PROCESS FOR POLY-Si LAYER IN TOPCon SOLAR CELLS AND ITS EFFECT ON ELECTRICAL PERFORMANCE
随着光伏行业的飞速发展,PERC太阳电池技术已无法满足太阳电池光电转换效率的进一步提升,TOPCon太阳电池因具有高光电转换效率,被认为是下一代太阳电池技术的可选方案.针对TOPCon太阳电池的多晶硅层的磷掺杂量、推进温度及推进时间对多晶硅层、硅衬底中磷掺杂特性及电性能参数的影响进行了研究.研究结果显示:在隧穿氧化层及多晶硅层厚度分别设定为1.5 和 130.0 nm的条件下,磷掺杂参数设置为通源流量为1400 sccm、通源时间为25 min、…查看全部>>
钱金忠;左克祥;王安;杜东亚;凡金星;高纪凡
国家能源集团常州发电有限公司,常州 213031国家能源集团常州发电有限公司,常州 213031国家能源集团常州发电有限公司,常州 213031常州天合智慧能源工程有限公司,常州 213031||天合光能股份有限公司光伏科学与技术国家重点实验室,常州 213031常州天合智慧能源工程有限公司,常州 213031||天合光能股份有限公司光伏科学与技术国家重点实验室,常州 213031常州天合智慧能源工程有限公司,常州 213031||天合光能股份有限公司光伏科学与技术国家重点实验室,常州 213031
动力与电气工程
隧穿氧化层钝化接触太阳电池多晶硅层磷掺杂钝化效果光电转换效率
TOPCon solar cellspoly-Si layerphosphorus dopingpassivation effectphotoelectric conversion efficiency
《太阳能》 2023 (9)
54-59,6
国家重点研发计划(2020YFB1506503)
评论