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TOPCon太阳电池中多晶硅层磷掺杂工艺的优化及其对电性能的影响

钱金忠左克祥王安杜东亚凡金星高纪凡

太阳能Issue(9)：54-59,6.

太阳能Issue(9)：54-59,6.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20220617.01

OPTIMIZATION OF PHOSPHORUS DOPING PROCESS FOR POLY-Si LAYER IN TOPCon SOLAR CELLS AND ITS EFFECT ON ELECTRICAL PERFORMANCE

钱金忠 ¹左克祥 ¹王安 ¹杜东亚 ²凡金星 ²高纪凡²

作者信息

隧穿氧化层钝化接触太阳电池/多晶硅层/磷掺杂/钝化效果/光电转换效率

TOPCon solar cells/poly-Si layer/phosphorus doping/passivation effect/photoelectric conversion efficiency

信息技术与安全科学

钱金忠,左克祥,王安,杜东亚,凡金星,高纪凡..TOPCon太阳电池中多晶硅层磷掺杂工艺的优化及其对电性能的影响[J].太阳能,2023,(9):54-59,6.

国家重点研发计划(2020YFB1506503) （2020YFB1506503）

ISSN：1003-0417

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