计量学报2023，Vol.44Issue(9)：1333-1338,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2023.09.03
远程靶基距Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森结薄膜溅射制备技术研究
Fabrication of Nb/Al-AlOx/Nb Josephson Junction Films by a Sputtering Process with a Long Target-substrate Distance
摘要
关键词
计量学/Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森结/磁控溅射/靶基距/薄膜沉积Key words
metrology/Nb/Al-AlOx/Nb josephson junction/magnetron sputtering/target-substrate distance/thin film deposition分类
通用工业技术引用本文复制引用
王振宇,曾九孙,高鹤,王仕建,徐达,钟青,李劲劲,王雪深..远程靶基距Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森结薄膜溅射制备技术研究[J].计量学报,2023,44(9):1333-1338,6.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金(62101522) （62101522）
国家市场监督管理总局科技计划(2021MK154) （2021MK154）
