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基于磁控溅射的弱电加热结构的设计及测量研究

闫晓燕梁时硕刘雨奇郭琦

计量学报2023，Vol.44Issue(9)：1347-1351,5.

计量学报2023，Vol.44Issue(9)：1347-1351,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2023.09.05

基于磁控溅射的弱电加热结构的设计及测量研究

Design and Measurement of Weak Current Heating Structure Based on Magnetron Sputtering

闫晓燕 ¹梁时硕 ¹刘雨奇 ¹郭琦¹

作者信息

1. 中北大学,山西太原030051
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摘要

关键词

计量学/弱磁检测/原子气室/毕奥-萨伐尔定律/磁控溅射/无磁电加热结构/有限元仿真

Key words

metrology/weak magnetic detection/atomic gas chamber/Biot-Savart law/magnetron sputtering/no magnetoelectric heating/finite element simulation

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

闫晓燕,梁时硕,刘雨奇,郭琦..基于磁控溅射的弱电加热结构的设计及测量研究[J].计量学报,2023,44(9):1347-1351,5.

基金项目

山西省回国留学人员科研资助(2021-116) （2021-116）

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-1158

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