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压电式高温液滴喷射元件研制

邹凯梁瑞虹周志勇张文斌关胜孙海轶彭凯伦邹家杰李学红王成冷雨欣

无机材料学报2023，Vol.38Issue(8)：987-988,2.

无机材料学报2023，Vol.38Issue(8)：987-988,2.DOI:10.15541/jim20231001

压电式高温液滴喷射元件研制

Piezoelectric High Temperature Liquid Droplet Spraying Component

邹凯 ¹梁瑞虹 ²周志勇 ²张文斌 ²关胜 ²孙海轶 ³彭凯伦 ³邹家杰 ³李学红 ³王成 ³冷雨欣³

作者信息

1. 中国科学院大学, 北京 100049||中国科学院上海硅酸盐研究所, 上海 200050
2. 中国科学院上海硅酸盐研究所, 上海 200050
3. 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
折叠

摘要

关键词

极紫外光刻/微细压电陶瓷管/高温液滴发生器/高温压电陶瓷

Key words

EUV lithography/micro piezoelectric ceramic tube/piezoelectric high-temperature nozzle/high-temperature piezoelectric ceramic

分类

化学化工

引用本文复制引用

邹凯,梁瑞虹,周志勇,张文斌,关胜,孙海轶,彭凯伦,邹家杰,李学红,王成,冷雨欣..压电式高温液滴喷射元件研制[J].无机材料学报,2023,38(8):987-988,2.

基金项目

上海市科委集成电路科技支撑专项项目(20501110100)Integrated Circuit Technology Support Special Project of Science and Technology Innovation Action Plan of Shanghai(20501110100) （20501110100）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-324X

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