信息与控制2023，Vol.52Issue(4)：417-431,482,16.DOI:10.13976/j.cnki.xk.2023.3167
面向制造过程的虚拟量测技术综述与展望
Overview and Prospect of Virtual Metrology Technology for Manufacturing Processes
摘要
关键词
零缺陷制造/产品良率/虚拟量测Key words
zero-defect manufacturing/product yield/virtual metrology分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李莉,张雅瑄,于青云..面向制造过程的虚拟量测技术综述与展望[J].信息与控制,2023,52(4):417-431,482,16.基金项目
国家自然科学基金(72171172,62088101) （72171172,62088101）
上海市发展与改革委员会重大专项(2021SHZDZX0100) （2021SHZDZX0100）
上海市科学技术委员会先导项目(19511132101) （19511132101）
