光学精密工程2023，Vol.31Issue(17)：P.2534-2545,12.
纳米级运动轨迹规划和控制
李爱琳 1李璟1
作者信息
- 1. 中国科学院微电子研究所,北京100029 中国科学院大学,北京100049
- 折叠
摘要
关键词
超精密系统/轨迹规划/蒙特卡洛算法/跟踪控制/多自由度耦合分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李爱琳,李璟..纳米级运动轨迹规划和控制[J].光学精密工程,2023,31(17):P.2534-2545,12.基金项目
国家科技重大专项(No.2018ZX02101005)。 （No.2018ZX02101005）
