机械制造与自动化2023，Vol.52Issue(5)：P.108-110,114,4.
掩膜电化学沉积缺陷去除数值分析及实验研究
吴传冬 1张彦 1蔡康捷 1赵涵涛 1方成刚1
作者信息
- 1. 南京工业大学机械与动力工程学院,江苏南京211899
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摘要
关键词
数值分析/掩膜电化学沉积/缺陷去除/微柱分类
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吴传冬,张彦,蔡康捷,赵涵涛,方成刚..掩膜电化学沉积缺陷去除数值分析及实验研究[J].机械制造与自动化,2023,52(5):P.108-110,114,4.
