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等离子体化学气相沉积工艺调控铜基-石墨烯复合薄膜材料微结构及电学热学性能研究

白雪园 刘显波 陈龙庆 王正上 杨勇飞 郑洲

四川大学学报:自然科学版2023，Vol.60Issue(5)：P.190-196,7.
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四川大学学报:自然科学版2023，Vol.60Issue(5)：P.190-196,7.DOI:10.19907/j.0490-6756.2023.055002

等离子体化学气相沉积工艺调控铜基-石墨烯复合薄膜材料微结构及电学热学性能研究

白雪园 1刘显波 2陈龙庆 3王正上 4杨勇飞 4郑洲2

作者信息

  • 1. 中国工程物理研究院化工材料研究所,绵阳621900 四川警察学院公共安全实验室,泸州646000
  • 2. 中国工程物理研究院化工材料研究所,绵阳621900
  • 3. 四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理与技术重点实验室,成都610064
  • 4. 中国工程物理研究院化工材料研究所,绵阳621900 四川省新材料研究中心,成都610000
  • 折叠

摘要

关键词

PECVD/铜膜/石墨烯/电导率

分类

数理科学

引用本文复制引用

白雪园,刘显波,陈龙庆,王正上,杨勇飞,郑洲..等离子体化学气相沉积工艺调控铜基-石墨烯复合薄膜材料微结构及电学热学性能研究[J].四川大学学报:自然科学版,2023,60(5):P.190-196,7.

基金项目

化工材料研究所学科基金(2021SJYBXM0217)。 （2021SJYBXM0217）

四川大学学报:自然科学版

OA北大核心CSCDCSTPCD

0490-6756

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