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氮化硼复合陶瓷表面二次电子发射抑制

姚璐欧阳林杰王丹陈继新贺永宁徐亚男

高电压技术2023，Vol.49Issue(9)：3848-3855,8.

高电压技术2023，Vol.49Issue(9)：3848-3855,8.DOI:10.13336/j.1003-6520.hve.20221970

氮化硼复合陶瓷表面二次电子发射抑制

Modulation of Secondary Electron Emission from Boron Nitride Composite Ceramics

姚璐 ¹欧阳林杰 ²王丹 ¹陈继新 ³贺永宁 ¹徐亚男⁴

作者信息

1. 西安交通大学微电子学院,西安710049
2. 西安交通大学微电子学院,西安710049||西安中科原子精密制造科技有限公司,西安710119
3. 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家研究中心,沈阳110016
4. 上海推进技术研究所上海空间发动机工程技术研究中心,上海201112
折叠

摘要

关键词

氮化硼/二次电子发射/霍尔推进器/激光刻蚀/氮化钛

Key words

boron nitride/secondary electron emission/Hall thruster/laser etching/titanium nitride

引用本文复制引用

姚璐,欧阳林杰,王丹,陈继新,贺永宁,徐亚男..氮化硼复合陶瓷表面二次电子发射抑制[J].高电压技术,2023,49(9):3848-3855,8.

基金项目

国家自然科学基金(62101425) （62101425）

陕西省重点研发计划(2021LLRH-03) （2021LLRH-03）

中国科学院重点部署项目(ZDRW-XH-2021-6) （ZDRW-XH-2021-6）

国家重点研发计划(2016YFB0303804) （2016YFB0303804）

上海市科学技术委员会(17DZ2280800).Project supported by National Natural Science Foundation of China(62101425),Key R&D Program of Shaanxi Province(2021LLRH-03),Key Deployment Project of Chinese Academy of Sciences(ZDRW-XH-2021-6),National Key R&D Program of China(2016YFB0303804),Shanghai Engineering Research Center of Space Engine(17DZ2280800). （17DZ2280800）

高电压技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1003-6520

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