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氧化层对纳米划痕诱导金属定向沉积的影响研究

徐长宝辛明勇冯起辉崔立聪朱杰余丙军

江西科学2023，Vol.41Issue(5)：936-939,993,5.

江西科学2023，Vol.41Issue(5)：936-939,993,5.DOI:10.13990/j.issn1001-3679.2023.05.022

Effect of Oxide Layer on Nanoscratch-induced Directional Deposition of Metals

徐长宝 ¹辛明勇 ¹冯起辉 ¹崔立聪 ²朱杰 ²余丙军²

作者信息

单晶硅/纳米划痕/光刻胶/金属微纳结构/氧化层/金属定向沉积

monocrystalline silicon/nanoscratch/photoresist/metal micro/nanostructures/oxide layer/metal directional deposition

信息技术与安全科学

徐长宝,辛明勇,冯起辉,崔立聪,朱杰,余丙军..氧化层对纳米划痕诱导金属定向沉积的影响研究[J].江西科学,2023,41(5):936-939,993,5.

贵州电网有限责任公司科技项目(GZKJXM20220047). （GZKJXM20220047）

ISSN：1001-3679

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