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光刻胶辅助的石墨烯晶圆无损转移

廖珺豪林立刘忠范赵一萱胡兆宁补赛玉陆琪尚明鹏贾开诚裘晓辉谢芹

物理化学学报2023，Vol.39Issue(10)：120-127,8.

物理化学学报2023，Vol.39Issue(10)：120-127,8.DOI:10.3866/PKU.WHXB202306038

光刻胶辅助的石墨烯晶圆无损转移

Crack-Free Transfer of Graphene Wafers via Photoresist as Transfer Medium

廖珺豪 ¹林立 ²刘忠范 ³赵一萱 ⁴胡兆宁 ⁵补赛玉 ⁶陆琪 ⁷尚明鹏 ³贾开诚 ⁸裘晓辉 ⁹谢芹³

作者信息

1. 北京大学化学与分子工程学院,北京大学纳米化学研究中心,北京分子科学国家研究中心,北京100871||北京大学前沿交叉学科研究院,北京100871||北京石墨烯研究院,北京100095||国家纳米科学中心,北京100190
2. 北京大学化学与分子工程学院,北京大学纳米化学研究中心,北京分子科学国家研究中心,北京100871||北京大学前沿交叉学科研究院,北京100871||北京石墨烯研究院,北京100095||北京大学材料科学与工程学院,北京100871
3. 北京大学化学与分子工程学院,北京大学纳米化学研究中心,北京分子科学国家研究中心,北京100871||北京大学前沿交叉学科研究院,北京100871||北京石墨烯研究院,北京100095
4. 北京大学化学与分子工程学院,北京大学纳米化学研究中心,北京分子科学国家研究中心,北京100871||北京石墨烯研究院,北京100095
5. 北京石墨烯研究院,北京100095||北京大学材料科学与工程学院,北京100871
6. 北京大学材料科学与工程学院,北京100871
7. 北京石墨烯研究院,北京100095||中国石油大学理学院,北京102249
8. 北京石墨烯研究院,北京100095
9. 国家纳米科学中心,北京100190
折叠

摘要

关键词

石墨烯转移/光刻胶/转移介质/载流子迁移率

Key words

Graphene transfer/Photoresist/Transfer medium/Carrier mobility

分类

化学

引用本文复制引用

廖珺豪,林立,刘忠范,赵一萱,胡兆宁,补赛玉,陆琪,尚明鹏,贾开诚,裘晓辉,谢芹..光刻胶辅助的石墨烯晶圆无损转移[J].物理化学学报,2023,39(10):120-127,8.

基金项目

The project was supported by the National Natural Science Foundation of China(T2188101,61974139,51432002,51520105003,12232016),Beijing Municipal Science & Technology Commission(Z181100004818001,Z191100000819005,Z191100000819007,Z201100008720005),National Basic Research Program of China(2016YFA0200101,2016YFA0200103,2019YFA0708203),and Beijing National Laboratory for Molecular Sciences(BNLMS-CXTD-202001).国家自然科学基金(T2188101,61974139,51432002,51520105003,12232016),北京市科学技术委员会(Z181100004818001,Z191100000819005,Z191100000819007,Z201100008720005),国家重点基础研究发展规划项目(2016YFA0200101,2016YFA0200103,2019YFA0708203)及北京分子科学国家研究中心(BNLMS-CXTD-202001)资助（T2188101,61974139,51432002,51520105003,12232016）

物理化学学报

OACSCDCSTPCD

ISSN：1000-6818

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