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碳纳米管薄膜场效应晶体管低温电学特性

张静 李梦达 朱慧平 王磊 彭松昂 陆芃 李晓静 王艳蓉 李博 闫江

现代应用物理2023，Vol.14Issue(3)：P.217-221,5.
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现代应用物理2023，Vol.14Issue(3)：P.217-221,5.DOI:10.12061/j.issn.2095-6223.2023.030801

碳纳米管薄膜场效应晶体管低温电学特性

张静 1李梦达 2朱慧平 3王磊 3彭松昂 4陆芃 3李晓静 3王艳蓉 1李博 3闫江1

作者信息

  • 1. 北方工业大学信息学院,北京100144
  • 2. 北方工业大学信息学院,北京100144 中国科学院微电子研究所 中国科学院抗辐照器件技术重点实验室,北京100029
  • 3. 中国科学院微电子研究所 中国科学院抗辐照器件技术重点实验室,北京100029
  • 4. 中国科学院微电子研究所
  • 折叠

摘要

关键词

碳纳米管薄膜场效应晶体管/低温/电学特性/散射/界面俘获中心

分类

数理科学

引用本文复制引用

张静,李梦达,朱慧平,王磊,彭松昂,陆芃,李晓静,王艳蓉,李博,闫江..碳纳米管薄膜场效应晶体管低温电学特性[J].现代应用物理,2023,14(3):P.217-221,5.

基金项目

北京市教委基金委联合基金资助项目(KZ202210009014)。 （KZ202210009014）

现代应用物理

OACSTPCD

2095-6223

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