合成材料老化与应用2023,Vol.52Issue(5):110-112,3.
日本集成电路材料产业发展的经验启示
Experience Enlightenment for the Development of Japan's Integrated Circuit Materials Industry
刘滨 1夏姗姗 1艾晶1
作者信息
- 1. 中国电子产品可靠性与环境试验研究所,广东广州 511370
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摘要
关键词
集成电路材料/产业发展/日本Key words
integrated circuit materials/industrial development/Japan分类
通用工业技术引用本文复制引用
刘滨,夏姗姗,艾晶..日本集成电路材料产业发展的经验启示[J].合成材料老化与应用,2023,52(5):110-112,3.