人工晶体学报2023，Vol.52Issue(10)：1745-1757,13.
堆积硅料的阶跃分布孔隙率对准单晶铸锭过程籽晶熔化的影响
Effect of Step Porosity Distribution of Stacked Silicon on Seed Crystal Melting During Quasi-Single Crystalline Silicon Casting Process
摘要
关键词
准单晶硅铸锭/阶跃分布孔隙率/籽晶熔化/堆积硅料/界面形状/熔化状态Key words
quasi-single crystalline silicon casting/step porosity distribution/seed crystal melting/stacked silicon/interface shape/melting state分类
数理科学引用本文复制引用
孙英龙,郑丽丽,张辉..堆积硅料的阶跃分布孔隙率对准单晶铸锭过程籽晶熔化的影响[J].人工晶体学报,2023,52(10):1745-1757,13.基金项目
国家重点研发计划(2020YFB1506501) （2020YFB1506501）
