太赫兹科学与电子信息学报2023，Vol.21Issue(10)：1198-1203,6.DOI:10.11805/TKYDA2023206
氢气退火在UV-LIGA制作折叠波导慢波结构中的影响
Research on hydrogen annealing in UV-LIGA microfabrication of folded waveguide slow wave structures
姜琪 1谢云竹 1李兴辉 1潘攀 1蔡军 1冯进军1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十二研究所 微波电真空器件国家级重点实验室,北京 100015
- 折叠
摘要
关键词
氢气退火/紫外-光刻、电铸技术/慢波结构/折叠波导Key words
hydrogen annealing/Ultraviolet-Lithographie Galvanoformung Abformung/slow wave structure/folded waveguide分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
姜琪,谢云竹,李兴辉,潘攀,蔡军,冯进军..氢气退火在UV-LIGA制作折叠波导慢波结构中的影响[J].太赫兹科学与电子信息学报,2023,21(10):1198-1203,6.
