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基于48对棒CVD还原炉出口的CFD模拟

黄凯 黄河 刘娜 黄雪莉 靳立军 马春梅

化学工程2023，Vol.51Issue(10)：79-82,88,5.
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化学工程2023，Vol.51Issue(10)：79-82,88,5.DOI:10.3969/j.issn.1005-9954.2023.10.015

基于48对棒CVD还原炉出口的CFD模拟

CFD simulation of outlet of 48-pair rod CVD reduction furnace

黄凯 1黄河 1刘娜 1黄雪莉 1靳立军 2马春梅3

作者信息

  • 1. 新疆大学化学工程学院新疆省煤炭清洁转化重点实验室,新疆乌鲁木齐 830017
  • 2. 新疆大学化学工程学院新疆省煤炭清洁转化重点实验室,新疆乌鲁木齐 830017||大连理工大学化工学院,辽宁大连 116000
  • 3. 新疆宣力环保能源有限公司研发中心,新疆乌鲁木齐 830000
  • 折叠

摘要

关键词

改良西门子法/CVD还原炉/多晶硅/数值模拟/流场/温度场

Key words

improved Siemens method/CVD reduction furnace/polysilicon/numerical simulation/flow field/temperature field

分类

化学化工

引用本文复制引用

黄凯,黄河,刘娜,黄雪莉,靳立军,马春梅..基于48对棒CVD还原炉出口的CFD模拟[J].化学工程,2023,51(10):79-82,88,5.

基金项目

新疆维吾尔自治区重大科技专项基金资助(2022A01002) （2022A01002）

化学工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1005-9954

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