太阳能Issue(10):45-54,10.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20220822.01
"SE+PERC"单晶硅太阳电池发射极方阻均匀性提升工艺的研究
RESEARCH ON UNIFORMITY IMPROVEMENT PROCESS OF EMITTER SQUARE RESISTANCE IN"SE+PERC"MONO-Si SOLAR CELLS
高荣刚 1王丽婷 1周啸颖 1王守志 1韩林芝 1张书1
作者信息
- 1. 中节能太阳能科技(镇江)有限公司,镇江 212132
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摘要
关键词
太阳电池/选择性发射极/钝化发射极背接触/管式扩散/气体流量/炉内压强/方阻均匀性/电性能Key words
solar cells/SE/PERC/tubular diffusion/gas flow/pressure in furnace/uniformity of square resistance/electrical properties分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
高荣刚,王丽婷,周啸颖,王守志,韩林芝,张书.."SE+PERC"单晶硅太阳电池发射极方阻均匀性提升工艺的研究[J].太阳能,2023,(10):45-54,10.