有色金属材料与工程2023，Vol.44Issue(5)：53-59,74,8.DOI:10.13258/j.cnki.nmme.2023.05.008
ZrYN层厚度对CrN/ZrYN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响
Effect of ZrYN layer thickness on microstructure and mechanical properties of CrN/ZrYN nanomultilayered film
摘要
关键词
CrN/ZrYN纳米多层膜/磁控溅射/硬度/韧性Key words
CrN/ZrYN nanomultilayered film/magnetron sputtering/hardness/toughness分类
化学化工引用本文复制引用
沈嘉豪,王静静,杨志明,岳建岭,李伟,马迅..ZrYN层厚度对CrN/ZrYN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响[J].有色金属材料与工程,2023,44(5):53-59,74,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51971148 （）
51471110) （）
