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准分子激光器预电离过程影响分析

王倩崔惠绒范元媛赵江山刘斌亓岩颜博霞王延伟周密韩哲

物理学报2023，Vol.72Issue(19)：101-107,7.

物理学报2023，Vol.72Issue(19)：101-107,7.DOI:10.7498/aps.72.20230731

准分子激光器预电离过程影响分析

Analysis of preionization effect of excimer laser

王倩 ¹崔惠绒 ¹范元媛 ¹赵江山 ¹刘斌 ¹亓岩 ¹颜博霞 ¹王延伟 ¹周密 ¹韩哲¹

作者信息

1. 中国科学院微电子研究所,光电技术研发中心,北京 100094
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摘要

关键词

准分子激光器/流体模型/预电离/电子密度

Key words

excimer laser/fluid model/preionization/electron number density

引用本文复制引用

王倩,崔惠绒,范元媛,赵江山,刘斌,亓岩,颜博霞,王延伟,周密,韩哲..准分子激光器预电离过程影响分析[J].物理学报,2023,72(19):101-107,7.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:12074405)和中国科学院青年创新促进会(批准号:2020121)资助的课题.Project supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant No.12074405)and the Foundation for Study Encouragement to Young Scientists,Chinese Academy of Sciences,China(Grant No.2020121). （批准号:12074405）

物理学报

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ISSN：1000-3290

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