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氮化铝基板嵌入式微流道设计及激光刻蚀研究

马预谱魏涛王力赵俊熠张鑫磊陈妮李亮何宁

中国机械工程2023，Vol.34Issue(20)：2496-2503,8.

中国机械工程2023，Vol.34Issue(20)：2496-2503,8.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2023.20.013

氮化铝基板嵌入式微流道设计及激光刻蚀研究

Design and Laser Etching of Embedded Microchannels on AlN Substrate

马预谱 ¹魏涛 ¹王力 ¹赵俊熠 ²张鑫磊 ²陈妮 ²李亮 ²何宁²

作者信息

1. 南京电子技术研究所,南京,210039
2. 南京航空航天大学机电学院,南京,210016
折叠

摘要

关键词

氮化铝/高温共烧陶瓷基板/微流道/激光加工/化学铣切/激光功率/扫描速度

Key words

aluminum nitride(AlN)/high-temperature co-fired ceramics(HTCC)substrate/mi-crochannel/laser processing/chemical milling/laser power/scanning speed

分类

化学化工

引用本文复制引用

马预谱,魏涛,王力,赵俊熠,张鑫磊,陈妮,李亮,何宁..氮化铝基板嵌入式微流道设计及激光刻蚀研究[J].中国机械工程,2023,34(20):2496-2503,8.

基金项目

国家自然科学基金(52206214,51905270,51975288,52111530094) （52206214,51905270,51975288,52111530094）

国家重点研发计划(2020YFB2010605) （2020YFB2010605）

航空科学基金(2020Z044052001) （2020Z044052001）

中国科协青年人才托举工程项目(2021QNRC001) （2021QNRC001）

江苏省青年科技基金(SBK2022046033) （SBK2022046033）

中国机械工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-132X

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