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锂磷氧氮薄膜电解质的制备与结构分析

张敏 牛亚军 张浩昌 俞兆喆 田冰冰

桂林电子科技大学学报2023，Vol.43Issue(4)：313-318,6.
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桂林电子科技大学学报2023，Vol.43Issue(4)：313-318,6.

锂磷氧氮薄膜电解质的制备与结构分析

Preparation and structural analysis of lithium phosphorus oxynitrogen thin film electrolyte

张敏 1牛亚军 2张浩昌 2俞兆喆 1田冰冰3

作者信息

  • 1. 桂林电子科技大学 广西制造系统与先进制造技术重点实验室,广西 桂林 541004
  • 2. 桂林电子科技大学 广西制造系统与先进制造技术重点实验室,广西 桂林 541004||深圳大学 二维材料光电科技国际合作联合实验室,广东 深圳 518060
  • 3. 深圳大学 二维材料光电科技国际合作联合实验室,广东 深圳 518060
  • 折叠

摘要

关键词

LiPON/薄膜固态电解质/射频磁控溅射/工艺优化/薄膜电池

Key words

LiPON/thin film solid electrolyte/RF magnetron sputtering/process optimization/thin film battery

分类

数理科学

引用本文复制引用

张敏,牛亚军,张浩昌,俞兆喆,田冰冰..锂磷氧氮薄膜电解质的制备与结构分析[J].桂林电子科技大学学报,2023,43(4):313-318,6.

基金项目

国家自然科学基金(21805055) （21805055）

广西自然科学基金(2019JJA120043,2020GXNSFAA159059) （2019JJA120043,2020GXNSFAA159059）

大学生创新训练计划(201910595112) （201910595112）

桂林电子科技大学学报

1673-808X

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