机电工程技术2023，Vol.52Issue(10)：264-270,7.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2023.10.055
基于改进A-Kano模型的外延设备控制系统研究
Research on Control System of Epitaxial Equipment Based on Improved A-Kano Model
摘要
关键词
碳化硅/外延/控制系统/A-KanoKey words
silicon carbide/epitaxy/control system/A-Kano分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
戴科峰,梁启恒,唐卓睿,毛朝斌..基于改进A-Kano模型的外延设备控制系统研究[J].机电工程技术,2023,52(10):264-270,7.基金项目
季华实验室基金项目(X210241TC210) （X210241TC210）
