首页|期刊导航|液晶与显示|基于差动共焦的倾角测量传感器

基于差动共焦的倾角测量传感器

王廷煜王之一杨永强糜小涛王建立姚凯男程雪

液晶与显示2023，Vol.38Issue(11)：1481-1489,9.

液晶与显示2023，Vol.38Issue(11)：1481-1489,9.DOI:10.37188/CJLCD.2023-0045

Tilt sensor based on differential confocal microscope

王廷煜 ¹王之一 ¹杨永强 ²糜小涛 ²王建立 ¹姚凯男 ¹程雪³

作者信息

1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033||中国科学院大学, 北京 100049||吉林省智能波前传感与控制重点实验室, 吉林长春 130033
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033||中国科学院大学, 北京 100049
3. 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所, 江苏苏州 215163||济南国科医工科技发展有限公司, 山东济南 250102
折叠

非接触光学探针/差动共焦/三维检测/倾斜测量/峰值提取

non-contact optical probe/differential confocal/3D detection/tilt measurement/peak extraction

机械制造

王廷煜,王之一,杨永强,糜小涛,王建立,姚凯男,程雪..基于差动共焦的倾角测量传感器[J].液晶与显示,2023,38(11):1481-1489,9.

国家自然科学基金(No.62005273,No.12133009) （No.62005273,No.12133009）

山东省自然科学基金青年基金(No.ZR2020QF100) （No.ZR2020QF100）

Supported by National Natural Science Foundation of China(No.62005273,No.12133009) （No.62005273,No.12133009）

Natural Science Foundation of Shandong Province,China(No.ZR2020QF100) （No.ZR2020QF100）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1007-2780

访问量0

下载量0

段落导航