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液态镓合金与铜电极间接触电阻特性与可靠性提升

纪越 张彦鹏 李醒飞 张志佳

表面技术2023，Vol.52Issue(10)：267-277,11.
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表面技术2023，Vol.52Issue(10)：267-277,11.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2023.10.022

液态镓合金与铜电极间接触电阻特性与可靠性提升

Characteristics and Reliability Improvement of Contact Resistance between Liquid Gallium Alloy and Copper Electrode

纪越 1张彦鹏 1李醒飞 2张志佳3

作者信息

  • 1. 天津工业大学控制科学与工程学院,天津 300387||天津工业大学天津市电气装备智能控制重点实验室,天津 300387
  • 2. 天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津 300072
  • 3. 天津工业大学材料科学与工程学院,天津 300387
  • 折叠

摘要

关键词

气相沉积法/接触电阻/液态金属/接触应力/膜层/石墨烯

Key words

vapor deposition method/contact resistance/liquid metal/contact stress/film/graphene

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

纪越,张彦鹏,李醒飞,张志佳..液态镓合金与铜电极间接触电阻特性与可靠性提升[J].表面技术,2023,52(10):267-277,11.

基金项目

国家自然科学基金面上项目(62173245) （62173245）

国家自然科学基金重点项目(61733012)General Program of National Natural Science Foundation of China(62173245) （61733012）

Key Program of National Natural Science Foundation of China(61733012) （61733012）

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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