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同时制备多个透射电镜截面试样的离子减薄方法

张革崔云赵娇玲王涛赵元安

理化检验-物理分册2023，Vol.59Issue(10)：27-29,33,4.

理化检验-物理分册2023，Vol.59Issue(10)：27-29,33,4.DOI:10.11973/lhjy-wl202310006

Ion thinning method for simultaneous preparation of multiple TEM cross-section samples

张革 ¹崔云 ¹赵娇玲 ¹王涛 ¹赵元安¹

作者信息

透射电镜/薄膜/离子减薄/试样制备

transmission electron microscopy/thin film/ion thinning/sample preparation

矿业与冶金

张革,崔云,赵娇玲,王涛,赵元安..同时制备多个透射电镜截面试样的离子减薄方法[J].理化检验-物理分册,2023,59(10):27-29,33,4.

国家自然科学基金中物院联合基金(U1930119) （U1930119）

中国科学院青年创新促进会人才项目(2020253) （2020253）

上海市科技计划项目(21DZ1100400) （21DZ1100400）

ISSN：1001-4012

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