强激光与粒子束2023，Vol.35Issue(11)：36-42,7.DOI:10.11884/HPLPB202335.230131
有机氟酸蚀刻提高熔石英的抗激光损伤性能
Improving laser damage resistance of fused silica by organic fluoric acid etching
摘要
关键词
有机氟酸/静态蚀刻/激光损伤/再沉积物/熔石英Key words
organic fluoric acid/static etching/laser damage/deposition/fused silica分类
数理科学引用本文复制引用
匙芳廷,李啸宇,李园利,吕丽娜,彭豪,杜志远..有机氟酸蚀刻提高熔石英的抗激光损伤性能[J].强激光与粒子束,2023,35(11):36-42,7.基金项目
龙山学术人才科研支持计划项目(17LZX610、18LZX553、18LZXT0303) （17LZX610、18LZX553、18LZXT0303）
