光学精密工程2023，Vol.31Issue(20)：2964-2974,11.DOI:10.37188/OPE.20233120.2964
三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿
Coupled hysteresis model and its inverse compensation for three-degree-of-freedom tip-tilt-piston piezoelectric stage
摘要
关键词
压电偏摆台/压电驱动器/耦合迟滞模型/逆补偿/跟踪控制Key words
tip-tilt-piston piezoelectric stage/piezoelectric actuator/coupled hysteresis model/inverse compensation/tracking control分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
司马津甫,赖磊捷,李朋志,方宇,朱利民..三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿[J].光学精密工程,2023,31(20):2964-2974,11.基金项目
国家自然科学基金重点项目资助(No.U2013211) （No.U2013211）
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.51605275) （No.51605275）
上海市自然科学基金项目(No.21ZR1426000) （No.21ZR1426000）
机械系统与振动国家重点实验室课题资助项目(No.MSV202210) （No.MSV202210）
