信息与控制2023，Vol.52Issue(5)：626-637,12.DOI:10.13976/j.cnki.xk.2023.2303
面向单臂组合设备中紧急订单的调度
Scheduling of Single-armed Cluster Tools with Emergency Order Insertion
摘要
关键词
晶圆制造/组合设备/时间约束/紧急订单Key words
wafer manufacturing/cluster tool/time constraint/urgent order分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李金成,潘春荣..面向单臂组合设备中紧急订单的调度[J].信息与控制,2023,52(5):626-637,12.基金项目
国家自然科学基金(72161019) （72161019）
江西省高等学校井冈学者特聘教授岗位资助项目 （）
