电子科技大学学报2023，Vol.52Issue(6)：830-834,5.DOI:10.12178/1001-0548.2022227
微结构硅基光电二极管的近红外响应特性研究
Near-Infrared Response Characteristics of Microstructured Silicon-Based Photodiodes
罗海燕 1李世彬 2王文武3
作者信息
- 1. 中国科学院微电子研究所集成电路先导研发中心 北京 朝阳区 100029||中国科学院大学集成电路学院 北京 怀柔区 100049
- 2. 电子科技大学光电科学与工程学院 成都 610054
- 3. 中国科学院微电子研究所集成电路先导研发中心 北京 朝阳区 100029
- 折叠
摘要
关键词
飞秒脉冲激光/离子注入/近红外光谱/光电二极管Key words
femtosecond pulsed laser/ion implantation/near-infrared wavelengths/photodiodes分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
罗海燕,李世彬,王文武..微结构硅基光电二极管的近红外响应特性研究[J].电子科技大学学报,2023,52(6):830-834,5.
