光学精密工程2023，Vol.31Issue(21)：3111-3124,14.DOI:10.37188/OPE.20233121.3111
二维线性模组空间运动误差实时测量
Real-time spatial error measurement of two-dimensional linear module
摘要
关键词
误差测量系统/二维线性模组/空间误差模型/实时测量Key words
error measurement system/two-dimensional linear module/spatial error model/real-time measurement分类
机械工程引用本文复制引用
娄志峰,张汉平,周竞杰,张记云,钱钧,范光照..二维线性模组空间运动误差实时测量[J].光学精密工程,2023,31(21):3111-3124,14.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.52275521) （No.52275521）
中央高校基本科研业务费资助项目(No.DUT22YG209) （No.DUT22YG209）
江苏省政策引导类计划资助项目(No.BZ2020051) （No.BZ2020051）
