激光技术2023，Vol.47Issue(6)：824-830,7.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.06.014
不同环境中纳秒激光烧蚀单晶硅的物质抛出机理
Investigation on mechanism of material ejection by nanosecond laser ablation of mono-crystalline silicon under different environments
摘要
关键词
激光技术/激光烧蚀机理/数值模拟/单晶硅Key words
laser technique/laser ablative mechanism/numerical simulation/mono-crystalline silicon分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
齐立涛,陈金鑫,田振..不同环境中纳秒激光烧蚀单晶硅的物质抛出机理[J].激光技术,2023,47(6):824-830,7.基金项目
黑龙江省省属高等学校基本科研业务费科研项目(2018-KYYWF-1168) （2018-KYYWF-1168）
黑龙江科技大学研究生创新科研项目(YJSCX2020-111HKD) （YJSCX2020-111HKD）
