流体机械2023，Vol.51Issue(10)：43-48,6.DOI:10.3969/j.issn.1005-0329.2023.10.006
半导体制造装备用阀门技术发展现状
State-of-art of valve technology used in semiconductor manufacturing equipment
摘要
关键词
半导体制造/超高真空阀门/国产化/高清洁度/长寿命Key words
semiconductor manufacturing/ultra high vacuum valve/localization/high cleanliness/long service life分类
机械制造引用本文复制引用
陈林,茅岭峰..半导体制造装备用阀门技术发展现状[J].流体机械,2023,51(10):43-48,6.基金项目
江苏省企业重点实验室资助项目(BM2014013) （BM2014013）
