人工晶体学报2023，Vol.52Issue(11)：1952-1960,9.
基于Fluent的多晶硅还原炉关键结构优化设计
Optimization Design of Key Structure of Polycrystalline Silicon Reduction Furnace Based on Fluent
摘要
关键词
多晶硅还原炉/Do辐射模块/结构设计/出气口布局/炉顶封头/硅棒底盘布局Key words
polycrystalline silicon reduction furnace/Do radiation module/structural design/air outlet layout/furnace top sealing head/silicon rod chassis layout分类
能源科技引用本文复制引用
孙泽刚,葛自豪,石荣秋,费天文..基于Fluent的多晶硅还原炉关键结构优化设计[J].人工晶体学报,2023,52(11):1952-1960,9.基金项目
四川省科技计划(2022YFG0075) （2022YFG0075）
过程装备与控制工程四川省高校重点实验室开放基金(GK202104) （GK202104）
