人工晶体学报2023，Vol.52Issue(11)：1961-1970,10.
单晶硅各向异性仿真刻蚀模型构建与形貌模拟
Construction of Anisotropic Simulation Etching Model and Morphology Simulation of Mono-Crystalline Silicon
摘要
关键词
单晶硅/湿法刻蚀/表层形貌/晶面/各向异性/活性剂/蒙特卡罗/仿真Key words
mono-crystalline silicon/wet etching/surface morphology/crystal plane/anisotropy/surfactant/Monte Carlo/simulation分类
数理科学引用本文复制引用
张辉,钱珺,洪莉莉..单晶硅各向异性仿真刻蚀模型构建与形貌模拟[J].人工晶体学报,2023,52(11):1961-1970,10.基金项目
江苏省工业感知及智能制造装备工程研究中心开放基金(ZK22-05-07) （ZK22-05-07）
南京工业职业技术大学引进人才科研启动基金(YK20-01-08) （YK20-01-08）
