传感技术学报2023，Vol.36Issue(10)：1515-1521,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2023.10.003
基于压电式微机械超声换能器阵列的无线能量传输设计
Design of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Array for Wireless Power Transfer
摘要
关键词
微机械系统/压电式微机械换能器/无线能量传输/氮化铝Key words
MEMS/PMUT/wireless power transfer/aluminum nitride分类
机械制造引用本文复制引用
荣智聪,宁远,张孟伦..基于压电式微机械超声换能器阵列的无线能量传输设计[J].传感技术学报,2023,36(10):1515-1521,7.基金项目
国家自然科学基金项目(62001322) （62001322）
