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基于玻璃碳基底的超薄自支撑多晶金刚石膜制备

熊枭 王兵 熊鹰 吴国栋

金刚石与磨料磨具工程2023，Vol.43Issue(5)：531-536,6.
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金刚石与磨料磨具工程2023，Vol.43Issue(5)：531-536,6.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0005

基于玻璃碳基底的超薄自支撑多晶金刚石膜制备

Preparation and growth mechanism of ultra-thin free-standing polycrystalline diamond film based on glass carbon substrate

熊枭 1王兵 2熊鹰 1吴国栋1

作者信息

  • 1. 西南科技大学 材料与化学学院, 四川 绵阳 621010||西南科技大学,环境友好能源材料国家重点实验室, 四川 绵阳 621010
  • 2. 西南科技大学 材料与化学学院, 四川 绵阳 621010
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摘要

关键词

超薄金刚石膜/自支撑/玻璃碳基底/膜-基分离/生长机理/MPCVD

Key words

ultra-thin diamond film/free-standing/glass carbon substrate/film-substrate separation/growth mechan-ism/MPCVD

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

熊枭,王兵,熊鹰,吴国栋..基于玻璃碳基底的超薄自支撑多晶金刚石膜制备[J].金刚石与磨料磨具工程,2023,43(5):531-536,6.

基金项目

四川省省院省校合作项目(2021YFSY0029). （2021YFSY0029）

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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