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电磁式MOEMS扫描光栅微镜驱动系统结构优化

陈亮 顾雯雯 温泉 李东玲

农业机械学报2020，Vol.51Issue(S02)：P.579-585,7.
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农业机械学报2020，Vol.51Issue(S02)：P.579-585,7.

电磁式MOEMS扫描光栅微镜驱动系统结构优化

陈亮 1顾雯雯 1温泉 2李东玲2

作者信息

  • 1. 西南大学工程技术学院,重庆400715
  • 2. 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆400044
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摘要

关键词

光谱仪/MOEMS扫描光栅微镜/磁场强度/驱动电压/机械扫描半角

分类

农业科技

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陈亮,顾雯雯,温泉,李东玲..电磁式MOEMS扫描光栅微镜驱动系统结构优化[J].农业机械学报,2020,51(S02):P.579-585,7.

基金项目

国家重点研发计划项目(2018YFF01011200) （2018YFF01011200）

中央高校基本科研业务费项目(XDJK2018C037)。 （XDJK2018C037）

农业机械学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1298

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